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1、無塵車間凈化設備裝置好后小心地拆除隔離墻，通過過濾的空氣可以接入送風。進行這一步的時間應該仔細地選定，盡量減少對無塵車間內正常工作的干擾。
2、無塵車間設備內部和要害的加工小室應該在正常的潔凈室條件下進行清潔和投入使用的準備工作。
3、無塵車間凈化設備裝置結束后對一切恰當的潔凈室內和一切與產品接觸或觸及產品傳遞的外表都要進行擦拭，達到要求的潔凈度等級。設備的清潔程序應該是從頂究竟，由于如果有粒子分布，較大的粒子會因重力而落到設備的底部或地面上。
4、對無塵車間設備外部清潔，順序也是從頂究竟。
5、無塵車間凈化設備裝置完工如必要時，應該查看產品或工藝要求非常要害的區域的外表粒子情況。
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